[发明专利]一种表面承载有组合多层膜的基板、X射线探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种表面承载有组合多层膜的基板、X射线探测器及其制备方法，涉及氧化物光电功能膜材料领域。组合多层膜是指由PbO层和Ga2O3层组成的重复单元在一个重复频次内叠层构成的多层膜。发明人将PbO层和Ga2O3层进行组合，借助PbO层实现对X射线光子的强吸收，降低X射线探测器的材料厚度，Ga2O3层实现超低漏电流，通过组合多层膜同时实现对X射线光子的强吸收，降低X射线探测器的材料厚度，并达到超低漏电流指标。该组合多层膜同时满足了温度敏感的基板材料沉积用途。