[发明专利]一种化学气相沉积炉

摘要

本发明公开了一种化学气相沉积炉，包括炉体，所述炉体内设置有沉积室，所述沉积室顶部与真空管道连接，所述沉积室底部设置在坩埚盖上，所述坩埚盖底部设置有原料坩埚，所述坩埚盖位于沉积室对应的表面上还设置有气体导入装置；所述气体导入装置包括多个并列设置的气箱，所述气箱上设置有多个气嘴，相邻的两个气箱分别与原料坩埚和混合原料气体进气通道贯通连接，所述原料坩埚还与载气气体进气通道贯通连接，所述气箱内设置有气体分配板。本发明能够显著提高沉积空间原料配比的均匀性，更易沉积获得更大面积及厚度上均匀的产品。