[发明专利]一种化学气相沉积炉

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉，其特征在于，包括炉体，所述炉体内设置有沉积室，所述沉积室顶部与真空管道连接，所述沉积室底部设置在坩埚盖上，所述坩埚盖底部设置有原料坩埚，所述坩埚盖位于沉积室对应的表面上还设置有气体导入装置；

所述气体导入装置包括多个并列设置的气箱，所述气箱上设置有多个气嘴，相邻的两个气箱分别与原料坩埚和混合原料气体进气通道贯通连接，所述原料坩埚还与载气气体进气通道贯通连接，所述气箱内设置有气体分配板。

2.如权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述坩埚盖表面设置有容置腔，所述气箱设置在容置腔内，所述混合原料气体进气通道和载气气体进气通道均设置在坩埚盖上。

3.如权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述气箱内设置有三个连续的台阶托部，所述气体分配板数量为2，多个气嘴设置在顶板上，两个气体分配板设置在气箱内位于下部的两个台阶托部上，所述顶板设置在顶部的台阶托部上。

4.如权利要求3所述的化学气相沉积炉，其特征在于，两个气体分配板上的孔洞错位设置，所述混合原料气体进气通道对应的气体分配板上对应的位置不开设孔洞。

5.如权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述气箱的数量为3，其中两个气箱与沉积室贯通连接，另一气箱设置在中间且与混合原料气体进气通道贯通连接。

6.如权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述坩埚盖设置在料车上，所述料车对应的炉体内设置有料车轨道架，所述料车下方设置有升降平台，所述原料坩埚放置在升降平台上，所述升降平台与升降机构连接。

7.如权利要求6所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述料车上设置有台阶框，所述坩埚盖设置在台阶框内，所述料车底部设置有两排行走轮，所述行走轮对应的料车轨道架上设置有凹型限位导向轨，所述凹型限位导向轨上设置有前锁止块和后锁止块。

8.如权利要求6所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述升降机构包括丝杠升降机和升降提升板，所述丝杠升降机安装在升降支撑底座上，所述升降支撑底座设置在料车上，所述丝杠升降机还与升降提升板连接，所述升降提升板两端上设置有提升吊杆，所述提升吊杆穿过料车与升降平台连接，所述提升吊杆位于料车上方的部分上套设有固定螺母。

9.如权利要求6所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述升降平台上设置有坩埚摆放定位凹部，所述坩埚摆放定位凹部上设置有加热避让口，所述升降平台下方的炉体内设置有支撑架。

10.如权利要求1-9任意一项所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述炉体为单面开门结构且内腔为长方体，所述炉体的外壁上设置有水冷装置，所述炉体的内壁上设置有沉积室加热元件和保温材料，所述原料坩埚的外周上设置有坩埚加热元件。