[发明专利]研磨工作台用的清洁装置以及研磨系统在审
| 申请号： | 202110891733.9 | 申请日： | 2021-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN113798998A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 李青;王俊明;刘东阳;张志刚;赵玉乐;周鹏 | 申请（专利权）人： | 山西光兴光电科技有限公司;东旭科技集团有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/06 | 分类号： | B24B55/06;B08B3/02;B08B1/00 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 吴瑛;岳永先 |
| 地址： | 030000 山西省太原市唐槐园区唐槐路9*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及清洁技术领域，公开了研磨工作台用的清洁装置以及研磨系统，所述研磨工作台用的清洁装置包括直线驱动机构以及装配于所述直线驱动机构的清洁体，所述清洁体具有能够清扫所述研磨工作台的清洁部，所述直线驱动机构设置为能够带动所述清洁体朝向所述研磨工作台移动以使得所述清洁部与所述研磨工作台相接触，这样，清洁体的清洁部与研磨工作台相接触以能够清扫落于研磨工作台的研磨粉尘如玻璃粉尘，由此提高了研磨工作台的清洁度，保证了研磨作业的顺利进行，同时减少了研磨粉尘对待研磨件如玻璃基板的影响，提升了研磨品质。通过在研磨系统中设置上述研磨工作台用的清洁装置，从而不仅保证了研磨系统的正常运行，而且保证了研磨品质。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 工作台 清洁 装置 以及 系统 | ||
【主权项】：
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