[发明专利]研磨工作台用的清洁装置以及研磨系统

权利要求书

1.研磨工作台用的清洁装置，其特征在于，所述研磨工作台用的清洁装置(10)包括直线驱动机构(12)以及装配于所述直线驱动机构(12)的清洁体(14)，所述清洁体(14)具有能够清扫所述研磨工作台(20)的清洁部，所述直线驱动机构(12)设置为能够带动所述清洁体(14)朝向所述研磨工作台(20)移动以使得所述清洁部与所述研磨工作台(20)相接触。

2.根据权利要求1所述的研磨工作台用的清洁装置，其特征在于，所述研磨工作台(20)具有传送状态；

所述清洁体(14)包括装配于所述直线驱动机构(12)的清洁体主体(140)以及设置于所述清洁体主体(140)的毛刷部，所述毛刷部形成为所述清洁部。

3.根据权利要求2所述的研磨工作台用的清洁装置，其特征在于，所述毛刷部呈条状，且所述毛刷部沿垂直于所述研磨工作台(20)的传送方向的横向方向延伸；和/或

所述直线驱动机构(12)包括气缸或者油缸。

4.根据权利要求2所述的研磨工作台用的清洁装置，其特征在于，所述清洁体主体(140)设置有沿所述毛刷部的厚度方向延伸的通孔，所述通孔供用于冲刷所述毛刷部的清洁液通过。

5.根据权利要求4所述的研磨工作台用的清洁装置，其特征在于，所述研磨工作台用的清洁装置(10)包括与所述研磨工作台(20)对置设置的冲刷喷嘴(16)，所述冲刷喷嘴(16)朝向所述研磨工作台(20)喷射用于冲刷所述研磨工作台(20)的清洗液。

6.根据权利要求5所述的研磨工作台用的清洁装置，其特征在于，所述冲刷喷嘴(16)设置为能够朝向所述研磨工作台(20)的传送方向或者与所述研磨工作台(20)的传送方向相反的方向喷射清洁液；和/或

所述冲刷喷嘴(16)设置为使得所喷射出的流体的方向与所述研磨工作台(20)之间的夹角为15°-45°。

7.根据权利要求5或6所述的研磨工作台用的清洁装置，其特征在于，所述研磨工作台用的清洁装置(10)包括一对冲刷喷嘴(16)，一对所述冲刷喷嘴(16)分别设置于所述清洁体(14)的沿所述研磨工作台(20)的传送方向的两侧。

8.根据权利要求7所述的研磨工作台用的清洁装置，其特征在于，所述研磨工作台用的清洁装置(10)包括连通于所述通孔且能够输送清洗液的第一输送管(18a)以及设置于所述第一输送管(18a)的第一控制阀(19a)；

所述研磨工作台用的清洁装置(10)包括分别连通于相应的所述冲刷喷嘴(16)的一对第二输送管(18b)以及分别设置于相应的所述第二输送管(18b)的一对第二控制阀(19b)，所述第二输送管(18b)能够输送清洁液；

所述研磨工作台用的清洁装置(10)包括分别连通于相应的所述冲刷喷嘴(16)的一对第三输送管(18c)以及分别设置于相应的所述第三输送管(18c)的一对第三控制阀(19c)，所述第三输送管(18c)能够输送压缩气体。

9.根据权利要求8所述的研磨工作台用的清洁装置，其特征在于，所述研磨工作台用的清洁装置(10)包括分别与所述直线驱动机构(12)、所述第一控制阀(19a)、所述第二控制阀(19b)以及所述第三控制阀(19c)相连的控制器；其中：

所述控制器设置为能够驱动所述直线驱动机构(12)带动所述清洁体(14)移动以及分别控制所述第一控制阀(19a)、所述第二控制阀(19b)和所述第三控制阀(19c)的开闭和开度。

10.研磨系统，其特征在于，所述研磨系统(22)包括能够支撑待研磨件的研磨工作台(20)和权利要求1-9中任意一项所述的研磨工作台用的清洁装置(10)，所述研磨工作台用的清洁装置(10)能够清扫所述研磨工作台(20)。