[发明专利]发热体及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202110886403.0 | 申请日： | 2021-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN113402281A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 杨雪蛟;付苒;谭毅成 | 申请（专利权）人： | 合肥商德应用材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/581 | 分类号： | C04B35/581;C04B35/622;C04B35/64;H01L21/67;C04B41/88 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 董洪荣 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市巢湖经济开*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及发热体烧结技术领域，具体而言，涉及一种发热体及其制备方法和应用。发热体的制备方法包括将发热体生坯置于烧结装置中，将至少三个预烧后的支撑件置于发热体生坯周围以支撑位于发热体生坯上方的板材，将烧结装置置于惰性保护气氛中对发热体生坯烧结，发热体生坯为包含有电路层的氮化铝陶瓷生坯。支撑件与发热体生坯的组成相同，且支撑件的预烧温度为(T‑100℃)～T，T为氮化铝与烧结助剂的烧结反应温度，支撑件的厚度大于发热体生坯的厚度0.2mm～1mm，板材在烧结过程中对发热体生坯加压。该方法制得的发热体具有高平整度和导热率。本发明还提供了上述制备方法制得的发热体及发热体作为晶圆加热装置的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 发热 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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