[发明专利]热交换器温控方法及温控系统有效
| 申请号： | 202110882723.9 | 申请日： | 2021-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN113687670B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 常鑫;何茂栋;冯涛;李文博;张伟;芮守祯;曹小康 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩世虹 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种热交换器温控方法及温控系统，热交换器温控方法包括：获取当前周期的前i个周期输出的制冷量平均值和制冷量标准差；确定制冷量标准差小于或等于第一阈值；确定当前周期输出的制冷量大于或等于制冷量平均值与第二阈值之差，且小于或等于制冷量平均值与第二阈值之和；设定当前周期的下一周期输出的制冷量为当前周期的前i个周期输出的制冷量平均值。通过对制冷量输出的统计分析修正被控对象参数，即通过对PID控制器输出制冷量的统计分析，根据其标准差的大小判定水箱入口温度状态，同时修正实际制冷量的输出，进而满足高低温段宽温区及空载负载状态的高精度温控需求。 | ||
| 搜索关键词： | 热交换器 温控 方法 系统 | ||
【主权项】：
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