[发明专利]热交换器温控方法及温控系统

说明书

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种热交换器温控方法及温控系统，热交换器温控方法包括：获取当前周期的前i个周期输出的制冷量平均值和制冷量标准差；确定制冷量标准差小于或等于第一阈值；确定当前周期输出的制冷量大于或等于制冷量平均值与第二阈值之差，且小于或等于制冷量平均值与第二阈值之和；设定当前周期的下一周期输出的制冷量为当前周期的前i个周期输出的制冷量平均值。通过对制冷量输出的统计分析修正被控对象参数，即通过对PID控制器输出制冷量的统计分析，根据其标准差的大小判定水箱入口温度状态，同时修正实际制冷量的输出，进而满足高低温段宽温区及空载负载状态的高精度温控需求。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种热交换器温控方法及温控系统。

背景技术

热交换器温控系统用来在集成电路制造工艺中提供稳定流量、稳定温度的循环液体。设备在实际工艺中以制冷为主，加热为辅，对于空载及负载状态时的温控精度要求较高，同时需要兼顾整个设备的能耗效率。

发明内容

本发明提供一种热交换器温控方法及温控系统，用以解决现有技术中热交换器温控系统对于空载及负载状态时的温控精度难以达到需求的缺陷，实现满足20℃时负载能力，及高低温段宽温区及空载负载状态的高精度温控需求的效果。

本发明提供一种热交换器温控方法，包括：

获取当前周期的前i个周期输出的制冷量平均值和制冷量标准差；

确定制冷量标准差小于或等于第一阈值；

确定当前周期输出的制冷量大于或等于制冷量平均值与第二阈值之差，且小于或等于制冷量平均值与第二阈值之和；

设定当前周期的下一周期输出的制冷量为当前周期的前i个周期输出的制冷量平均值。

根据本发明提供的一种热交换器温控方法，第n个周期获取的前i个周期输出的制冷量平均值

其中，Cn为第n个周期输出的制冷量。

根据本发明提供的一种热交换器温控方法，第n个周期获取的前i个周期输出的制冷量标准差

根据本发明提供的一种热交换器温控方法，所述第二阈值c＝b×σ_n，其中b为制冷量标准差的修正系数。

根据本发明提供的一种热交换器温控方法，在当前周期的下一周期输出的制冷量为当前周期的前i个周期输出的制冷量平均值的情况下，PID参数中积分系数和微分系数由原始修改为0。

根据本发明提供的一种热交换器温控方法，还包括：

确定当前周期输出的制冷量小于制冷量平均值与第二阈值之差，或大于制冷量平均值与第二阈值之和；

当前周期的下一周期输出的制冷量为当前周期输出的制冷量。

根据本发明提供的一种热交换器温控方法，还包括：

确定当前周期的前i个周期输出的制冷量标准差大于第一阈值；

当前周期的下一周期输出的制冷量为当前周期输出的制冷量。

根据本发明提供的一种热交换器温控方法，在当前周期的下一周期输出的制冷量为当前周期输出的制冷量的情况下，PID参数中积分系数和微分系数为原始参数。

根据本发明提供的一种热交换器温控方法，在所述获取当前周期的前i个周期输出的制冷量平均值和制冷量标准差的步骤前还包括：

根据水箱的入口温度和入口目标温度，启用PID控制器；

记录各周期输出的制冷量。