[发明专利]一种靶材组件及使用方法在审
| 申请号： | 202110878168.2 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113549889A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;侯娟华 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种靶材组件及使用方法，所述的靶材组件包括由下至上依次固定连接的上板、下板和靶材，所述上板和/或下板上设置有循环水道。在本发明中，下板设置了循环水道为产品溅射时降温提供了保证，又减轻了产品自重，螺纹孔为使用时的定位安装孔，结构简单，方便实用，能够使得靶材组件具有较高的安全性、稳定性及可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组件 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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