[发明专利]一种靶材组件及使用方法

权利要求书

1.一种靶材组件，其特征在于，所述的靶材组件包括由下至上依次固定连接的上板、下板和靶材，所述上板和/或下板上设置有循环水道。

2.根据权利要求1所述的靶材组件，其特征在于，所述的下板上设置有循环水道。

3.根据权利要求1或2所述的靶材组件，其特征在于，所述上板、下板和靶材的连接方式为焊接；

优选地，所述上板和下板间的焊接采用的焊接材料为银蜡；

优选地，所述下板和靶材间的焊接采用的焊接材料为铟。

4.根据权利要求1-3任一项所述的靶材组件，其特征在于，所述的下板和上板的材质均为金属；

优选地，所述的金属为铜。

5.根据权利要求1-4任一项所述的靶材组件，其特征在于，所述靶材的材质为非金属；

优选地，所述的非金属为碳化硅。

6.根据权利要求1-5任一项所述的靶材组件，其特征在于，所述的循环水道两端分别为进水口和出水口。

7.根据权利要求1-6任一项所述的靶材组件，其特征在于，所述的循环水道均匀盘设在下板上；

优选地，所述循环水道盘设的形式为蛇形。

8.根据权利要求1-7任一项所述的靶材组件，其特征在于，所述的进水口和出水口之间设置有至少两个螺纹孔；

优选地，所述螺纹孔的数量为2～6个。

9.根据权利要求1-8任一项所述的靶材组件，其特征在于，所述的下板、上板和靶材的边缘均对应设置有至少两个焊接孔；

优选地，所述焊接孔的数量为4～12个。

10.一种权利要求1-9任一项所述靶材组件的使用方法，其特征在于，所述的方法包括：对所述的靶材组件的循环水道进行注水，能够降低产品加工时的生产温度。