[发明专利]基于变形镜补偿的高稳定性纳弧度量级角度测量方法与装置有效
| 申请号： | 202110876122.7 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113686265B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 石剑;于洋;邢赫洋;张岱溪;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 刘景祥 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明属于精密测量技术领域与光学工程领域，具体涉及基于变形镜补偿的高稳定性纳弧度量级角度测量方法与装置；该装置由LED光源、凸透镜、多狭缝光阑、分光镜、转折镜、变形镜、准直物镜组、线阵CCD、四象限位置探测器以及平面反射镜组成；该方法使两路测量光束携带被测物角度变化信息，分别在两个传感器上形成各自图像，利用该两图像位置解算出被测物相对于光轴的俯仰角、偏航角，从而具有对被测物角度变化的探测能力；由于本发明利用准直物镜组极大提高物镜焦距的同时，又采用线阵CCD作为传感器提高了测量量程，因此具有在相同测量量程下，角度极限分辨力达到纳弧度量级的技术优势；利用LED光源、凸透镜以及多狭缝光阑，同时利用四象限位置探测器与变形镜进行漂移量反馈，提高系统稳定性至十纳弧度量级，从而解决光束漂移量限制自准直仪极限分辨力的问题。此外，本发明所设计的系统装置具有结构体积小、测量精度高、测量频响高的技术优势。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 变形 补偿 稳定性 弧度 量级 角度 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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