[发明专利]一种节能环保型退火炉有效
| 申请号： | 202110873646.0 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113624011B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 王大威;赵钊辉 | 申请（专利权）人： | 徐州中辉光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 景鹏飞 |
| 地址： | 221699 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种节能环保型退火炉，包括退火炉体以及安装于退火炉体内部的可调节的内壁盖板。本发明提供了一种内腔可调节的退火炉，可根据内部所加工半导体晶片的数量进行调节，在保证退火质量的同时，使退火炉以低于额定功率运行，节省能源；具有创新性的调节件，利用电生磁产生的磁性以及内壁盖板的自重相配合，实现内壁盖板不同角度的调节与固定，调节方式更加灵活精准；可直接在现有退火炉的基础上进行改装，改装方法简单，并且改装成本低廉，具有良好的推广实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 节能 环保 退火炉 | ||
【主权项】：
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