[发明专利]一种节能环保型退火炉

说明书

本发明提供了一种节能环保型退火炉，包括退火炉体以及安装于退火炉体内部的可调节的内壁盖板。本发明提供了一种内腔可调节的退火炉，可根据内部所加工半导体晶片的数量进行调节，在保证退火质量的同时，使退火炉以低于额定功率运行，节省能源；具有创新性的调节件，利用电生磁产生的磁性以及内壁盖板的自重相配合，实现内壁盖板不同角度的调节与固定，调节方式更加灵活精准；可直接在现有退火炉的基础上进行改装，改装方法简单，并且改装成本低廉，具有良好的推广实用性。

技术领域

本发明属于光伏技术领域，具体涉及一种节能环保型退火炉。

背景技术

光伏组件是光伏技术的关键组件，光伏组件是将太阳光通过光伏效应，由光转化成电能。光伏组件的基本结构是感光二极管，是通过微电子技术在半导体材料上制作而成。而退火炉是在半导体器件制造中所使用的的一种关键性设备，通过加热半导体晶片以影响其电性能。

现有的节能型退火炉基本采用纤维结构，其内腔的形状及大小均固定，无法针对所加工半导体晶片进行调节。当所加工数量较少时，为了保证退火质量，依然需要保证退火炉以额定功率运行，导致能源的浪费。

因此，针对以上问题研制出一种节能环保型退火炉是本领域技术人员所急需解决的难题。

发明内容

为解决上述问题，本发明公开了一种节能环保型退火炉。

为了达到上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种节能环保型退火炉，包括退火炉体以及安装于退火炉体内部的可调节的内壁盖板。

进一步地，内壁盖板通过调节件安装于退火炉体的炉体内壁上；调节件包括内壁连杆、盖板连杆、内壁连接片、盖板连接片、导线、电源以及启闭开关；内壁连杆的一端与炉体内壁相连，另一端沿轴向向内设有调节槽；盖板连杆的一端滑动安装于调节槽内，另一端与内壁盖板相连；内壁连接片为硅钢片，贴合于调节槽的槽底；盖板连接片贴合于盖板连杆位于调节槽内的一端；导线呈螺旋状缠绕于内壁连接片的表面，并连接电源与启闭开关形成回路；电源以及启闭开关均设置于退火炉体的外侧。

进一步地，内壁盖板的数量为两个，并且两个内壁盖板相互靠近的一端转动安装于炉体内壁的顶部，相互远离的一端通过调节件安装于退火炉体的炉体内壁上。

进一步地，内壁连杆为弧形杆；调节槽同样为弧形槽。

进一步地，两个内壁盖板沿退火炉体的深度方向安装于炉体内壁的顶部。

进一步地，导线所在回路内还接入有变阻器。

进一步地，变阻器为有机实芯电位器；导线的表面还包裹有一层耐高温防火表皮。

进一步地，启闭开关为脉冲开关。

本发明与现有技术相比，具有如下有益效果：

1、提供了一种内腔可调节的退火炉，可根据内部所加工半导体晶片的数量进行调节，在保证退火质量的同时，使退火炉以低于额定功率运行，节省能源；

2、具有创新性的调节件，利用电生磁产生的磁性以及内壁盖板的自重相配合，实现内壁盖板不同角度的调节与固定，调节方式更加灵活精准；

3、可直接在现有退火炉的基础上进行改装，改装方法简单，并且改装成本低廉，具有良好的推广实用性。

附图说明

图1、本发明的结构示意图；

图2、本发明中调节件的结构示意图。

附图标记列表：退火炉体1、内壁盖板2、调节件3、内壁连杆4、盖板连杆5、内壁连接片6、盖板连接片7、导线8、电源9、启闭开关10、调节槽11、变阻器12。

具体实施方式