[发明专利]一种生产大尺寸、高均匀性合成石英玻璃砣的方法在审
| 申请号： | 202110873609.X | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113683291A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 杨金鑫;肖华;胡邦红;吴龙波;张旭阳;孙国锋;钟媛;张思旗 | 申请（专利权）人： | 江苏亨通智能科技有限公司;华为技术有限公司 |
| 主分类号： | C03B8/04 | 分类号： | C03B8/04 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 吴竹慧 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种生产大尺寸、高均匀性合成石英玻璃砣的方法，该方法采用化学气相沉积工艺，即向多个燃烧器中通入氢气和氧气，氢气和氧气在燃烧器中燃烧进而对沉积炉炉腔进行预热；预热完成后，将沉积炉内石英基板的温度升高至指定温度，同时启动温度探测器使其开始工作；通过每个燃烧器的下料管向沉积炉内通入气态含硅化合物，氢气和氧气在燃烧器中燃烧产生水蒸汽，该水蒸汽与气态含硅化合物在沉积炉内反应生成二氧化硅颗粒；二氧化硅颗粒在转动的石英基板上逐渐沉积形成石英玻璃坨，且所述温度探测器动态监测二氧化硅颗粒沉积面的温度分布；本发明通过增加燃烧器及沉积面温度测试保证沉积面温度的均匀性，从而保证石英玻璃的结构均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生产 尺寸 均匀 合成 石英玻璃 方法 | ||
【主权项】：
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