[发明专利]甲醛传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110869982.8 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113686926A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 周志斌;杨怡;喻魁兰 | 申请（专利权）人： | 南昌攀藤科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京东方汇众知识产权代理事务所(普通合伙) 11296 | 代理人： | 王庆彬 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种甲醛传感器及其制备方法，属于甲醛检测领域。本发明的甲醛传感器包括MEMS基底、甲醛敏感材料层和掺杂层，MEMS基底为一种微型加热和叉指电极复合硅片，甲醛敏感材料层为金属氧化物盐溶液，覆盖于MEMS基底之上，掺杂层为贵金属溶液，覆盖于甲醛敏感材料层之上。本发明制备的甲醛传感器具有高灵敏度、低检测限、响应时间短和低成本、可大规模制造等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 甲醛 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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