[发明专利]甲醛传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种甲醛传感器，其特征在于，所述甲醛传感器包括MEMS基底、甲醛敏感材料层和掺杂层，所述MEMS基底为一种微型加热和叉指电极复合硅片，所述甲醛敏感材料层为金属氧化物盐溶液，覆盖于所述MEMS基底之上，所述掺杂层为贵金属溶液，覆盖于所述甲醛敏感材料层之上。

2.根据权利要求1所述的甲醛传感器，其特征在于，所述金属氧化物盐溶液为氧化锌和二氧化锡混合盐溶液。

3.根据权利要求2所述的甲醛传感器，其特征在于，所述所述金属氧化物盐溶液为氧化锌、二氧化锡和乙醇及表面活性剂配制的混合物，其中，氧化锌的质量分数为0.1％-20％，二氧化锡的质量分数为0.05％-10％，2-甲氧基乙醇的质量分数为70％-90％，表面活性剂的质量分数为0.001％-0.1％。

4.根据权利要求3所述的甲醛传感器，其特征在于，所述的表面活性剂包括但不限于聚乙烯吡咯烷酮、十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、十六烷基三甲基溴化铵和吐温20中的一种或者多种。

5.根据权利要求1所述的甲醛传感器，其特征在于，所述贵金属溶液为金溶液、铂溶液、钴溶液或钯溶液中的一种或多种。

6.一种所述甲醛传感器的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

在MEMS基底上印刷甲醛敏感材料层，之后高温退火，其中，所述甲醛敏感材料层为金属氧化物盐溶液；

在所述甲醛敏感材料层上印刷掺杂层，之后高温退火，所述掺杂层为贵金属溶液。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述金属氧化物盐溶液为氧化锌和二氧化锡混合溶液，所述氧化锌和二氧化锡混合溶液的制备方法为：采用水热法合成氧化锌和二氧化锡乙醇溶液，之后加入少量表面活性剂配制成氧化锌和二氧化锡混合溶液，其中，氧化锌的质量分数为0.1％-20％，二氧化锡的质量分数为0.05％-10％，2-甲氧基乙醇的质量分数为70％-90％，表面活性剂的质量分数为0.001％-0.1％。

8.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述贵金属溶液的制备方法为：采用贵金属盐溶于乙醇中合成金溶液、铂溶液、钴溶液或钯溶液。

9.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述甲醛敏感材料层的印刷方式为喷墨打印或点胶，退火温度为80-600℃。

10.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述掺杂层的印刷方式为喷墨打印或点胶，退火温度为100-600℃。