[发明专利]一种声波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110864026.0 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN113541636A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;吴进波;张师斌;周鸿燕;郑鹏程 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H9/05;H03H9/13;H03H3/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 林丽丽 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种声波谐振器及其制备方法，所述声波谐振器包括：支撑衬底；压电层，形成于所述支撑衬底的上表面，其中所述压电层包括贯通槽、边缘支撑结构、接合臂及N个有效压电结构；N个底电极，形成于N个所述有效压电结构和所述支撑衬底之间，并通过底电极连通结构相互连通；N个顶电极，形成于N个所述有效压电结构的上表面，并通过N个顶电极引出结构一一引出。其中，N为大于等于2的正整数。通过本发明提供的声波谐振器及其制备方法，解决了现有技术中横纵电场激发产生杂波的问题以及声波谐振器频率调节的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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