[发明专利]复合衬底及其制备方法在审
| 申请号： | 202110858367.7 | 申请日： | 2021-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN113644118A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 徐琳;金超;赵毛毛 | 申请（专利权）人： | 苏州纳维科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/10 | 分类号： | H01L29/10;H01L29/778;H01L21/335 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种复合衬底及其制备方法，包括：III‑V族衬底，所述III‑V族衬底具有III族极性面和V族极性面；欧姆接触层，所述欧姆接触层位于所述III‑V族衬底的V族极性面上。制备方法包括：提供一III‑V族衬底，所述III‑V族衬底具有III族极性面和V族极性面；在所述III‑V族衬底的V族极性面上形成欧姆接触层。本发明提供的另一种制备方法包括：提供一支撑衬底；在所述支撑衬底的表面形成欧姆接触层；在所述欧姆接触层表面形成III‑V族衬底，所述III‑V族衬底具有III族极性面和V族极性面，且所述V族极性面与所述欧姆接触层直接接触；去除所述支撑衬底。本发明通过设置欧姆接触层，提高了复合衬底的载流子浓度，降低了接触电阻，提高了欧姆接触的热稳定性以及器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 衬底 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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