[发明专利]基于物联网的等离子体反应腔内气体流量控制系统及方法有效
| 申请号： | 202110858123.9 | 申请日： | 2021-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN113551710B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 李冰妍 | 申请（专利权）人： | 富时精工（南京）有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G05D27/02;H05H1/16 |
| 代理公司： | 南京鑫之航知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32410 | 代理人： | 姚兰兰 |
| 地址： | 211199 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及基于物联网的等离子体反应腔内气体流量控制系统及方法，控制系统包括导流管、气体供给嘴、射流泵、磁场调控装置、节流阀、磁场传感器及基于物联网驱动电路，气体供给嘴后端面通过导流管与节流阀连通，节流阀通过导流管与射流泵连通，磁场调控装置包覆在气体供给嘴外，磁场传感器嵌于气体供给嘴侧壁内。其控制方法包括设备组装，供给流量调节两个步骤。本发明通用性好，运行自动化程度高，可有效满足多种气体及反应腔配套运行作业的需要，同时对输送的气流流速、浓度、压力均具有精确的调控能力，有效的降低了系统运行维护的难度及成本，降低了系统运行故障率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 联网 等离子体 反应 气体 流量 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富时精工（南京）有限公司，未经富时精工（南京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110858123.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
