[发明专利]基于物联网的等离子体反应腔内气体流量控制系统及方法

权利要求书

1.基于物联网的等离子体反应腔内气体流量控制系统，其特征在于：所述的基于物联网的等离子体反应腔内气体流量控制系统包括导流管（1）、气体供给嘴（2）、射流泵（3）、磁场调控装置（4）、节流阀（5）、控制阀（6）、温度传感器（7）、流量检测装置（8）、气压检测装置（9）、气体密度检测装置（10）、磁场传感器（11）及基于物联网驱动电路（12），其中所述气体供给嘴（2）为空心管状结构，其后端面通过导流管（1）与节流阀（5）连通，且节流阀（5）另通过导流管（1）与射流泵（3）连通，所述射流泵（3）进气端和出气端均通过控制阀（6）与导流管（1）连通，所述磁场调控装置（4）包覆在气体供给嘴（2）外并与气体供给嘴（2）同轴分布，所述温度传感器（7）、流量检测装置（8）、气压检测装置（9）、气体密度检测装置（10）均两个，分别嵌于节流阀（5）进气端和出气端对应的导流管（1）内，所述磁场传感器（11）至少两个，嵌于气体供给嘴（2）侧壁内并沿气体供给嘴（2）轴线方向均布，所述射流泵（3）、磁场调控装置（4）、节流阀（5）、控制阀（6）、温度传感器（7）、流量检测装置（8）、气压检测装置（9）、气体密度检测装置（10）、磁场传感器（11）均与基于物联网驱动电路（12）电气连接；

所述的磁场调控装置（4）包括绝缘护套管（41）、绝缘内衬管（42）、堵头（43）、滑槽（44）、电磁线圈（45）、接线盘（46）、行走机构（47）及接线端子（48），所述绝缘护套管（41）、绝缘内衬管（42）均为空心管状结构，其中所述绝缘护套管（41）包覆在绝缘内衬管（42）外，且绝缘护套管（41）、绝缘内衬管（42）两端通过堵头（43）连接，且绝缘护套管（41）、绝缘内衬管（42）间构成密闭的调节腔（49），所述绝缘护套管（41）内表面和绝缘内衬管（42）外表面均设至少两条环绕绝缘护套管（41）轴线均布的滑槽（44），且所述滑槽（44）与绝缘护套管（41）轴线平行分布，所述电磁线圈（45）至少两个，嵌于调节腔（49）内并通过滑槽（44）与绝缘护套管（41）、绝缘内衬管（42）滑动连接，所述电磁线圈（45）为与绝缘内衬管（42）同轴分布的闭合环状结构，包覆在绝缘内衬管（42）外并通过行走机构（47）与滑槽（44）滑动连接，所述电磁线圈（45）间均与接线盘（46）电气连接，所述接线盘（46）嵌于调节腔（49）内并与绝缘护套管（41）内侧面连接，所述接线端子（48）嵌于绝缘护套管（41）外，且所述接线端子（48）和行走机构（47）、接线盘（46）及基于物联网驱动电路（12）电气连接。

2.根据权利要求1所述的基于物联网的等离子体反应腔内气体流量控制系统，其特征在于：所述的射流泵（3）外另设承载龙骨（13），所述承载龙骨（13）包括连接基板（131）、弹性连接座（132）、导向滑槽（133）、承载架（134），其中所述承载架（134）为与射流泵（3）同轴分布的框架结构，其内表面通过至少两条导向滑槽（133）与射流泵（3）滑动连接，所述承载架（134）外表面与至少两个连接基板（131）连接，且所述连接基板（131）环绕承载架（134）轴线均布并与承载架（134）轴线平行分布，所述连接基板（131）外表面另设至少一个弹性连接座（132），且所述弹性连接座（132）与连接基板（131）间平行分布，所述基于物联网驱动电路（12）嵌于承载龙骨（13）外表面。

3.根据权利要求1所述的基于物联网的等离子体反应腔内气体流量控制系统，其特征在于：所述的绝缘护套管（41）及堵头（43）内侧面均设磁性隔离衬板（40），所述电磁线圈（45）外表面均设绝缘护套（451），相邻两个电磁线圈（45）的绝缘护套（451）外表面设防护弹片（452），且相邻两个电磁线圈（45）间间距为0至调节腔（49）长度的1/4。

4.根据权利要求1所述的基于物联网的等离子体反应腔内气体流量控制系统，其特征在于：所述的行走机构（47）上另设位移传感器（401），所述位移传感器（401）与接线端子（48）电气连接，且所述行走机构（47）为齿轮齿条机构、行走轮机构及传动带中的任意一种。