[发明专利]一种半导体抛光机用抛光盘

摘要

本发明公开了一种半导体抛光机用抛光盘，包括抛光盘本体，所述抛光盘本体底部设置有锁紧定位组件，所述锁紧定位组件包括置物盒，所述置物盒内部贯穿有活动槽。本发明通过根据抛光盘本体的使用情况进行使用调节，在无需进行使用时对抛光盘本体进行防护收纳，在需要进行使用时对抛光盘本体进行夹持固定，可将抛光盘本体放置于两个定位夹之间，转动调节螺杆，通过传送皮带的传动下使两个调节螺杆通过旋转轴承转动，两个定位夹对抛光盘本体进行有效夹持固定，可根据抛光盘使用的角度进行调节，拉动调节架板，选取对应定位螺孔，通过使用定位螺杆进行有效固定，从而实现抛光盘便于更换的同时进行夹紧以及调节。