[发明专利]一种半导体抛光机用抛光盘

权利要求书

1.一种用于半导体抛光机用抛光盘，包括抛光盘本体（1），其特征在于，所述抛光盘本体（1）底部设置有锁紧定位组件，所述锁紧定位组件包括置物盒（2），所述置物盒（2）内部贯穿有活动槽（3），所述活动槽（3）内壁两侧均开设有第一滑槽（4），所述第一滑槽（4）内部滑动连接有第一滑块（5），两个所述第一滑块（5）之间固定连接有防护调节板（6），所述防护调节板（6），所述防护调节板（6）内壁一侧开设有锁紧螺孔（7），所述锁紧螺孔（7）的数量设置有多个，每相邻两个所述锁紧螺孔（7）之间的距离相等，所述置物盒（2）内壁一侧贯穿有锁紧螺杆（8），所述锁紧螺杆（8）延伸至锁紧螺孔（7）内部，所述置物盒（2）内部开设有固定室（9），所述固定室（9）内壁底端开设有第二滑槽（10），所述第二滑槽（10）内部滑动连接有夹紧板（11），所述夹紧板（11）的数量设置有两个，两个所述夹紧板（11）关于固定室（9）中轴线对称设置，所述夹紧板（11）外壁一侧与固定室（9）内壁之间固定连接有复位弹簧（12），所述复位弹簧（12）的数量设置有两组，每组所述复位弹簧（12）的数量设置有两个，两个所述夹紧板（11）之间设置有连接底板（15），所述置物盒（2）外壁一侧固定连接有可视板（13），所述防护调节板（6）外壁一侧固定连接有手持手柄（14）。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体抛光机用抛光盘，其特征在于：所述连接底板（15）顶部设置有高度调节组件，所述高度调节组件包括固定板（16），所述固定板（16）与连接底板（15）固定连接，所述固定板（16）的数量设置有两个，两个所述固定板（16）关于连接底板（15）中轴线对称设置。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体抛光机用抛光盘，其特征在于：所述固定板（16）内壁两侧均开设有第三滑槽（17），所述第三滑槽（17）内部滑动连接有第二滑块（18），两个所述第二滑块（18）之间固定连接有调节架板（19），所述调节架板（19）贯穿固定板（16）延伸至顶部。

4.根据权利要求3所述的一种用于半导体抛光机用抛光盘，其特征在于：所述调节架板（19）内壁一侧开设有定位螺孔（20），所述定位螺孔（20）的数量设置有多个，多个所述定位螺孔（20）关于调节架板（19）中轴线对称设置，所述固定板（16）内部两侧均贯穿有定位螺杆（21），所述定位螺杆（21）延伸至定位螺孔（20）内部。

5.根据权利要求3所述的一种用于半导体抛光机用抛光盘，其特征在于：两个所述调节架板（19）顶部固定连接有定位固定组件（22），所述定位固定组件（22）包括连接加工板（23），所述连接加工板（23）与调节架板（19）固定连接，所述连接加工板（23）顶部固定连接有固定块（24），所述固定块（24）的数量设置有两组，每组所述固定块（24）的数量设置有两个，两个所述固定块（24）之间贯穿有调节螺杆（25）。

6.根据权利要求5所述的一种用于半导体抛光机用抛光盘，其特征在于：两个所述调节螺杆（25）之间传动连接有传送皮带（26），所述调节螺杆（25）与固定块（24）连接处设置有旋转轴承，所述调节螺杆（25）通过旋转轴承与固定块（24）转动连接。

7.根据权利要求6所述的一种用于半导体抛光机用抛光盘，其特征在于：所述调节螺杆（25）外壁螺纹套接有调节螺套（27），所述连接加工板（23）顶部两侧均开设有稳固滑槽（28），所述调节螺套（27）底部固定连接有稳固滑板（29），所述稳固滑板（29）与稳固滑槽（28）滑动连接，两个所述调节螺套（27）顶部固定连接有支撑板（30）。

8.根据权利要求7所述的一种用于半导体抛光机用抛光盘，其特征在于：所述支撑板（30）顶部固定连接有定位夹（31），所述定位夹（31）截面形状设为半圆形，两个所述定位夹（31）之间与抛光盘本体（1）相匹配。