[发明专利]一种基于液态金属的数字加速度计在审
| 申请号： | 202110826477.5 | 申请日： | 2021-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN113607973A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 陈文国;王瑞 | 申请（专利权）人： | 曲靖师范学院 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 符继超 |
| 地址： | 655011 云南省曲靖*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开的一种基于液态金属的数字加速度计，自下而上包括三层结构：第一层为衬底，具有多条纵向设置的电极槽，对称分布于衬底纵向中心线两侧；电极槽内镶嵌有不连通的两段信号电极。第二层为功能结构层，沿纵向中心线设有两个对称分布的V形流道，开口相对设置，且位于不连通的两段信号电极上方；两个V形流道中心位置为金属液滴限位孔，金属液滴限位孔内具有液态金属。第三层为限位盖板，下表面设有空气回流通道，空气回流通道的部分区域与V形流道相通。衬底、功能结构层和限位盖板上分别具有上下对应的固定螺栓孔，通过螺栓实现固定。本加速度计可直接输出数字信号，省略了复杂的信号处理过程，线性度好，集成度高，抗干扰能力强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 液态 金属 数字 加速度计 | ||
【主权项】：
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