[发明专利]一种基于液态金属的数字加速度计在审
申请号: | 202110826477.5 | 申请日: | 2021-07-21 |
公开(公告)号: | CN113607973A | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
发明(设计)人: | 陈文国;王瑞 | 申请(专利权)人: | 曲靖师范学院 |
主分类号: | G01P15/12 | 分类号: | G01P15/12 |
代理公司: | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人: | 符继超 |
地址: | 655011 云南省曲靖*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 液态 金属 数字 加速度计 | ||
1.一种基于液态金属的数字加速度计,其特征在于,自下而上包括三层结构;
第一层结构为衬底(1);所述衬底(1)具有多条纵向设置的电极槽;所述多条纵向设置的电极槽对称分布于所述衬底(1)纵向中心线两侧;所述电极槽内镶嵌有不连通的两段信号电极(2);
第二层结构为功能结构层(3);所述功能结构层(3)沿纵向中心线设有两个对称分布的V形流道(4);所述两个对称分布的V形流道(4),开口相对设置,且位于所述不连通的两段信号电极(2)上方;所述两个对称分布的V形流道(4)中心位置为金属液滴限位孔(5),所述金属液滴限位孔(5)内具有液态金属;
第三层结构为限位盖板(6);所述限位盖板(6)下表面设有空气回流通道(7),所述空气回流通道(7)的部分区域与所述V形流道(4)相通;
所述衬底(1)、功能结构层(3)和限位盖板(6)上分别具有上下对应的固定螺栓孔(8),通过螺栓实现固定。
2.如权利要求1所述的一种基于液态金属的数字加速度计,其特征在于,所述多条纵向设置的电极槽包括三部分;
第一部分和第三部分具有多条相同数量的电极槽,且分别位于所述衬底(1)纵向中心线两侧;第二部分为一条电极槽,且与所述衬底(1)纵向中心线重合;
所述第一部分和第三部分电极槽内部的信号电极(2)称为脉冲电极;所述第二部分电极槽内部的信号电极(2)称为静止电极。
3.如权利要求1所述的一种基于液态金属的数字加速度计,其特征在于,所述信号电极(2)厚度为5-50微米,宽度为1-200微米。
4.如权利要求1所述的一种基于液态金属的数字加速度计,其特征在于,所述信号电极(2)材料为镍、铜或者镍铜合金。
5.如权利要求1所述的一种基于液态金属的数字加速度计,其特征在于,所述金属液滴限位孔(5)为圆形或者方形。
6.如权利要求1所述的一种基于液态金属的数字加速度计,其特征在于,所述液态金属为镓、镓铟合金或钠钾合金。
7.如权利要求1所述的一种基于液态金属的数字加速度计,其特征在于,所述衬底(1)与所述功能结构层(3)之间、所述功能结构层(3)与所述限位盖板(6)之间均采用低温压封方式相互粘合。
8.如权利要求1所述的一种基于液态金属的数字加速度计,其特征在于,所述衬底(1)、功能结构层(3)和/或限位盖板(6)采用以下任意一种绝缘材料:聚甲基丙烯酸甲酯、硅或树脂。
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