[发明专利]一种基于液态金属的数字加速度计在审

专利信息
申请号: 202110826477.5 申请日: 2021-07-21
公开(公告)号: CN113607973A 公开(公告)日: 2021-11-05
发明(设计)人: 陈文国;王瑞 申请(专利权)人: 曲靖师范学院
主分类号: G01P15/12 分类号: G01P15/12
代理公司: 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 代理人: 符继超
地址: 655011 云南省曲靖*** 国省代码: 云南;53
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 液态 金属 数字 加速度计
【权利要求书】:

1.一种基于液态金属的数字加速度计,其特征在于,自下而上包括三层结构;

第一层结构为衬底(1);所述衬底(1)具有多条纵向设置的电极槽;所述多条纵向设置的电极槽对称分布于所述衬底(1)纵向中心线两侧;所述电极槽内镶嵌有不连通的两段信号电极(2);

第二层结构为功能结构层(3);所述功能结构层(3)沿纵向中心线设有两个对称分布的V形流道(4);所述两个对称分布的V形流道(4),开口相对设置,且位于所述不连通的两段信号电极(2)上方;所述两个对称分布的V形流道(4)中心位置为金属液滴限位孔(5),所述金属液滴限位孔(5)内具有液态金属;

第三层结构为限位盖板(6);所述限位盖板(6)下表面设有空气回流通道(7),所述空气回流通道(7)的部分区域与所述V形流道(4)相通;

所述衬底(1)、功能结构层(3)和限位盖板(6)上分别具有上下对应的固定螺栓孔(8),通过螺栓实现固定。

2.如权利要求1所述的一种基于液态金属的数字加速度计,其特征在于,所述多条纵向设置的电极槽包括三部分;

第一部分和第三部分具有多条相同数量的电极槽,且分别位于所述衬底(1)纵向中心线两侧;第二部分为一条电极槽,且与所述衬底(1)纵向中心线重合;

所述第一部分和第三部分电极槽内部的信号电极(2)称为脉冲电极;所述第二部分电极槽内部的信号电极(2)称为静止电极。

3.如权利要求1所述的一种基于液态金属的数字加速度计,其特征在于,所述信号电极(2)厚度为5-50微米,宽度为1-200微米。

4.如权利要求1所述的一种基于液态金属的数字加速度计,其特征在于,所述信号电极(2)材料为镍、铜或者镍铜合金。

5.如权利要求1所述的一种基于液态金属的数字加速度计,其特征在于,所述金属液滴限位孔(5)为圆形或者方形。

6.如权利要求1所述的一种基于液态金属的数字加速度计,其特征在于,所述液态金属为镓、镓铟合金或钠钾合金。

7.如权利要求1所述的一种基于液态金属的数字加速度计,其特征在于,所述衬底(1)与所述功能结构层(3)之间、所述功能结构层(3)与所述限位盖板(6)之间均采用低温压封方式相互粘合。

8.如权利要求1所述的一种基于液态金属的数字加速度计,其特征在于,所述衬底(1)、功能结构层(3)和/或限位盖板(6)采用以下任意一种绝缘材料:聚甲基丙烯酸甲酯、硅或树脂。

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