[发明专利]一种可调节探针卡装置在审
| 申请号： | 202110820456.2 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN113447684A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 范长旭 | 申请（专利权）人： | 范长旭 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路52号*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种可调节探针卡装置，包括：探针单元和移动磁体，若干个所述探针单元阵列设置，探针单元阵列的外侧环绕设置有移动磁体，该移动磁体能够环绕探针单元阵列移动，且在移动中移动磁体的一个磁极指向该探针单元阵列；由此结构，能够实现，探针单元阵列通过探针台的微位移带动下移，与晶圆表面的凸块接触，实现连接，在高凸块与探针单元接触后，通过转动移动磁体，使其环绕该探针单元阵列移动，调整探针单元下移，使探针单元与低凸块接触，实现探针高度的调节，使探针卡能够对晶圆上凸块的不同高度进行适应，保证探针卡的连接稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 探针 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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