[发明专利]一种可调节探针卡装置

权利要求书

1.一种可调节探针卡装置，其特征在于，包括：探针单元（1）、移动磁体（2）、探针板（3）、座圈（4）、卡圈（5）、引导环（6）和探针导线（7），若干个所述探针单元（1）阵列设置，探针单元阵列的外侧环绕设置有移动磁体（2），该移动磁体（2）能够环绕探针单元阵列移动，且在移动中移动磁体（2）的一个磁极指向该探针单元阵列；

所述探针单元（1）包括：探针帽（1-1）、探针体（1-2）和固定磁体（1-3），所述探针帽（1-1）为一圆柱体，该圆柱体的下端沿轴向设置有非贯通的插入口，且该插入口内部设置有螺纹，所述的探针体（1-2）的上端设置有与该插入口适配的外螺纹，探针体（1-2）的中间设置有固定磁体（1-3），该固定磁体（1-3）水平设置，使固定磁体（1-3）的两个磁极所在的直线与探针体（1-2）的轴线垂直，所述探针体（1-2）的下端为探针头；

所述探针板（3）上阵列设置有探针单元（1），探针板（3）覆盖在座圈（4）的下端，座圈（4）的上端与卡圈（5）的下端连接，卡圈（5）的上端设置有引导环（6），所述的探针导线（7）一端与探针单元（1）连接，探针导线（7）的另一端连接至引导环（6）。

2.根据权利要求1所述的一种可调节探针卡装置，其特征在于，所述的座圈（4）包括座圈体（4-1）、座圈体（4-1）外侧下沿设置有一下挡环（4-2），所述卡圈（5）包括卡圈体（5-1），卡圈体（5-1）外侧上沿设置有一上挡环（5-2），所述上挡环（5-2）、下挡环（4-2）、座圈体（4-1）和卡圈体（5-1）构成一环形的移动磁体滑槽。

3.根据权利要求2所述的一种可调节探针卡装置，其特征在于，所述卡圈（5）的上表面设置有容纳所述探针导线（7）的下卡槽（5-3），所述引导环（6）包括引导环体（6-1），引导环体（6-1）下表面设置有容纳所述探针导线（7）的上卡槽（6-2）。

4.根据权利要求3所述的一种可调节探针卡装置，其特征在于，所述上卡槽（6-2）的内侧能够与所述下卡槽（5-3）夹持所述探针导线（7），所述上卡槽（6-2）的外侧槽深大于其内侧，使探针导线（7）能够进入所述引导环体（6-1）内。

5.根据权利要求4所述的一种可调节探针卡装置，其特征在于，所述上卡槽（6-2）的外侧设置有连接孔（6-3）。

6.根据权利要求1、2、3、4或5任一项所述的一种可调节探针卡装置，其特征在于，还包括探针驱动结构（8），所述的移动磁体（2）设置在探针驱动结构（8）上。