[发明专利]一种柔性聚合物扫描装置在审
| 申请号： | 202110818310.4 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN113529021A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 罗军;陈小曼;陈琳;庞盼;钟三子;卢艳;李肃;林志浩;刘阳波 | 申请（专利权）人： | 顺束科技（天津）合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 张德才 |
| 地址： | 301799 天津市武清区京津电*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开一种柔性聚合物扫描装置，涉及电子材料技术领域，包括阳极筒、磁过滤弯管、连接管、真空腔室、磁环线包、脉冲负偏压电网和绝缘支架，阳极筒、磁过滤弯管、连接管和真空腔室依次连接，磁环线包设置于磁过滤弯管和连接管之间，磁环线包中通入交流电，脉冲负偏压电网通过绝缘支架安装于真空腔室中，脉冲负偏压电网与连接管的出口位置相对应，脉冲负偏压电网远离连接管的一侧用于设置聚合物基体。本发明提供的柔性聚合物扫描装置，能够实现聚合物基体表面金属或非金属膜层的均匀沉积，提升了膜层致密性，提高了离子能量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 聚合物 扫描 装置 | ||
【主权项】：
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