[发明专利]一种柔性聚合物扫描装置

权利要求书

1.一种柔性聚合物扫描装置，其特征在于，包括阳极筒、磁过滤弯管、连接管、真空腔室、磁环线包、脉冲负偏压电网和绝缘支架，所述阳极筒、所述磁过滤弯管、所述连接管和所述真空腔室依次连接，所述磁环线包设置于所述磁过滤弯管和所述连接管之间，所述磁环线包中通入交流电，所述脉冲负偏压电网通过所述绝缘支架安装于所述真空腔室中，所述脉冲负偏压电网与所述连接管的出口位置相对应，所述脉冲负偏压电网远离所述连接管的一侧用于设置聚合物基体。

2.根据权利要求1所述的柔性聚合物扫描装置，其特征在于，所述磁环线包包括磁环和绕设于所述磁环上的线圈，所述线圈中通入所述交流电，所述磁环的内径为270～400mm，所述线圈的匝数为2000～3000圈。

3.根据权利要求2所述的柔性聚合物扫描装置，其特征在于，所述交流电的电流值为-2A～2A，所述交流电的频率为10～60Hz。

4.根据权利要求1所述的柔性聚合物扫描装置，其特征在于，所述绝缘支架包括多个绝缘支柱，各所述绝缘支柱的两端分别与所述真空腔室内壁和所述脉冲负偏压电网连接。

5.根据权利要求1所述的柔性聚合物扫描装置，其特征在于，所述脉冲负偏压电网上设置有多个均匀分布的网孔，所述网孔为正方形孔，所述正方形孔的边长为2～5mm。

6.根据权利要求1所述的柔性聚合物扫描装置，其特征在于，所述脉冲负偏压电网采用的脉冲负偏压的数值为-100～-500V，频率为1～10KHz，峰值功率10KW～1MW。

7.根据权利要求1所述的柔性聚合物扫描装置，其特征在于，所述阳极筒的出口端设置有第一法兰盘，所述磁过滤弯管的两端分别设置有第二法兰盘和第三法兰盘，所述连接管的入口端设置有第四法兰盘，所述第一法兰盘与所述第二法兰盘固定连接，所述第三法兰盘与所述第四法兰盘固定连接，所述磁环线包位于所述第三法兰盘与所述第四法兰盘之间。