[发明专利]一种大气暴晒样品测厚装置及方法在审
| 申请号： | 202110817532.4 | 申请日： | 2021-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN113654506A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 李伟光;潘吉林;楚鹰军;鹿中晖;夏永生;李英志 | 申请（专利权）人： | 电信科学技术第五研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;G01B11/00 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 徐静 |
| 地址： | 610021 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种大气暴晒样品测厚装置及方法，所述大气暴晒样品测厚装置包括辅助定位装置、测厚传感器和多个光束发射装置；所述辅助定位装置具有上开口的放置槽，所述放置槽用于放置样品；所述多个光束发射装置分为两组；两组光束发射装置均安装在辅助定位装置的侧壁上，并且两组光束发射装置的发射光朝向不同，使得两组光束发射装置的发射光在样品表面交汇后形成若干个光交叉定位点；所述测厚传感器用于对光交叉定位点处的样品进行测厚。本发明可以不破坏样品表面状态情况下进行测厚点准确定位，可以保证样品腐蚀减薄速率的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大气 暴晒 样品 装置 方法 | ||
【主权项】：
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