[发明专利]一种大气暴晒样品测厚装置及方法在审
| 申请号: | 202110817532.4 | 申请日: | 2021-07-19 |
| 公开(公告)号: | CN113654506A | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
| 发明(设计)人: | 李伟光;潘吉林;楚鹰军;鹿中晖;夏永生;李英志 | 申请(专利权)人: | 电信科学技术第五研究所有限公司 |
| 主分类号: | G01B21/08 | 分类号: | G01B21/08;G01B11/00 |
| 代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 徐静 |
| 地址: | 610021 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 大气 暴晒 样品 装置 方法 | ||
1.一种大气暴晒样品测厚装置,其特征在于,包括辅助定位装置(1)、测厚传感器(2)和多个光束发射装置(3);
所述辅助定位装置(1)具有上开口的放置槽,所述放置槽用于放置样品(4);
所述多个光束发射装置(3)分为两组;两组光束发射装置(3)均安装在辅助定位装置(1)的侧壁(11)上,并且两组光束发射装置(3)的发射光朝向不同,使得两组光束发射装置(3)的发射光在样品(4)表面交汇后形成若干个光交叉定位点(41);
所述测厚传感器(2)用于对光交叉定位点(41)处的样品(4)进行测厚。
2.根据权利要求1所述的大气暴晒样品测厚装置,其特征在于,所述辅助定位装置(1)的侧壁(11)上具有多个安装孔(12);所述多个光束发射装置(3)分别安装在多个安装孔(12)中。
3.根据权利要求2所述的大气暴晒样品测厚装置,其特征在于,所述多个光束发射装置(3)能够在安装孔(12)中上下活动,用于调节多个光束发射装置(3)的发射光的中心与样品(4)的表面在同一平面。
4.根据权利要求3所述的大气暴晒样品测厚装置,其特征在于,在安装孔(12)中调节到位的光束发射装置(3)通过螺栓进行固定。
5.根据权利要求1所述的大气暴晒样品测厚装置,其特征在于,两组光束发射装置(3)的发射光相互垂直,并且两组中各个光束发射装置(3)间距相同。
6.根据权利要求5所述的大气暴晒样品测厚装置,其特征在于,所述辅助定位装置(1)的侧壁(11)俯视为矩形;两组光束发射装置(3)分别安装在辅助定位装置(1)的相邻两侧壁(11)上。
7.根据权利要求1所述的大气暴晒样品测厚装置,其特征在于,所述放置槽与放置其中的样品(4)形状匹配。
8.根据权利要求1所述的大气暴晒样品测厚装置,其特征在于,所述光束发射装置(3)为红外光发射装置。
9.根据权利要求1所述的大气暴晒样品测厚装置,其特征在于,所述辅助定位装置(1)下方具有支撑体(13)。
10.一种大气暴晒样品测厚方法,其特征在于,所述大气暴晒样品测厚方法采用如权利要求1-9任一项所述大气暴晒样品测厚装置实现,包括如下步骤:
步骤S1,在辅助定位装置(1)的放置槽中放置好样品(4);
步骤S2,在辅助定位装置(1)的安装孔(12)中安装两组光束发射装置(3);
步骤S3,打开光束发射装置(3),根据样品(4)表面位置调节光束发射装置(3)的高低位置,使光束发射装置(3)的发射光与样品(4)表面在同一平面;调节到位后将光束发射装置(3)进行固定;
步骤S4,两组光束发射装置(3)的发射光在样品(4)表面交汇后形成若干个光交叉定位点(41);
步骤S5,对光交叉定位点(41)采用测厚传感器(2)逐个测厚,并记录到暴晒前的样品测厚数据;
步骤S6,收好测厚传感器(2)并关闭光束发射装置(3)并取出样品(4)进行暴晒;
步骤S7,将暴晒一定时间后的样品(4)再次按照步骤S1~步骤S6执行,获得暴晒后的样品测厚数据;根据暴晒前和暴晒后的样品测厚数据获得样品厚度减薄量,再由样品厚度减薄量与暴晒时间的比值得到样品腐蚀减薄速度。
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