[发明专利]一种大尺寸X射线反射镜干涉拼接测量系统及方法在审
| 申请号： | 202110816528.6 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN113483696A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 周广;张梦然;董晓浩;王劼 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 杨怡清 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大尺寸X射线反射镜干涉拼接测量系统，包括减振平台，减振平台上安装有第一基座、移动装置和第二基座，第一基座的上方固定有干涉仪，移动装置包括安装在位移导轨上的多自由度机械运动平台，多自由度机械运动平台上方固定有被测光学镜和光学反射镜，第二基座的上方固定有自准直仪，且干涉仪、多自由度机械运动平台和自准直仪均与一控制终端通信连接。本发明通过设置多自由度机械运动平台，减小干涉拼接测量过程中的随机误差；通过设置高精密角度测量系统，提高最终的测量精度，采取高精度的自准直仪系统实现相关角度测量功能。并且，本发明能够快速、自动化地获取大尺寸高精度反射镜的完整二维面形数据，提高测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 射线 反射 干涉 拼接 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
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