[发明专利]一种多晶硅铸锭装置及其铸锭方法有效
| 申请号： | 202110815216.3 | 申请日： | 2021-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN113604878B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 张帅;朱常任;魏国 | 申请（专利权）人： | 江苏拓正茂源新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙) 44646 | 代理人： | 付钦伟 |
| 地址： | 221612 江苏省徐州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅铸锭装置，包括炉体、上隔热笼高度调节机构、上隔热笼、下隔热笼、隔热罩调节组件、底座、坩埚、加热器、支撑架和导气管，上隔热笼高度调节机构设于炉体上部，隔热罩调节组件设于上隔热笼高度调节机构上，上隔热笼设于隔热罩调节组件上，支撑架设于炉体底壁上，下隔热笼设于支撑架上，底座设于下隔热笼上，坩埚设于底座上，加热器设于底座上且位于坩埚外侧，导气管设于炉体侧壁上且贯穿上隔热笼设置。本发明涉及多晶硅铸锭技术领域，具体提供了一种隔热笼密封效果优良，且可直线多晶硅的纵向温度梯度，以提高多晶硅结晶质量的多晶硅铸锭装置及其铸锭方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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