[发明专利]一种多晶硅铸锭装置及其铸锭方法

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭装置，其特征在于，包括炉体、上隔热笼高度调节机构、上隔热笼、下隔热笼、隔热罩调节组件、底座、坩埚、加热器、支撑架和导气管，所述上隔热笼高度调节机构设于炉体上部，所述隔热罩调节组件设于上隔热笼高度调节机构上，所述上隔热笼设于隔热罩调节组件上，所述上隔热笼上部外侧设有卡合凸起一，所述上隔热笼下端设有卡合凹槽一，所述支撑架设于炉体底壁上，所述下隔热笼设于支撑架上，所述下隔热笼上端设有卡合凹槽二，所述下隔热笼下部外侧设有卡合凸起二，所述卡合凸起一与卡合凹槽二对应设置，所述卡合凸起二与卡合凹槽一对应设置，所述底座设于下隔热笼上，所述坩埚设于底座上，所述加热器设于底座上且位于坩埚外侧，所述导气管设于炉体侧壁上且贯穿上隔热笼设置。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭装置，其特征在于，所述上隔热笼高度调节机构包括支撑板、高度调节电机、驱动皮带、驱动轴和驱动螺纹杆，所述支撑板设于炉体内，所述高度调节电机设于支撑板上，所述驱动轴转动设于支撑板上，所述驱动皮带套设于高度调节电机输出轴和驱动轴上，所述驱动螺纹杆转动设于炉体底壁上且与驱动轴相连。

3.根据权利要求2所述的一种多晶硅铸锭装置，其特征在于，所述驱动轴和驱动螺纹杆均对称设有两组。

4.根据权利要求3所述的一种多晶硅铸锭装置，其特征在于，所述隔热罩调节组件包括防护壳体、螺纹块、防护驱动电机、防护驱动齿轮和防护罩，所述防护壳体设于上隔热笼上，所述螺纹块设于防护壳体上，所述螺纹块通过螺纹连接设于驱动螺纹杆上，所述防护驱动电机设于防护壳体内，所述防护驱动齿轮设于防护驱动电机输出轴上，所述防护罩外侧壁上设有锯齿，所述防护罩滑动设于上隔热笼内，所述防护罩与防护驱动齿轮啮合，所述防护罩为两端开口的圆柱筒结构。

5.根据权利要求4所述的一种多晶硅铸锭装置，其特征在于，所述支撑板和上隔热笼上均设有测温计。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭装置，其特征在于，所述底座内设有冷却器。

7.一种多晶硅铸锭装置的铸锭方法，其特征在于，具体包括下列步骤：

1)上隔热笼和下隔热笼卡合连接，防护罩下端远离坩埚上方，通过导气管对上隔热笼和下隔热笼内进行抽真空；

2)启动加热器进行加热，上隔热笼上的测温计进行测温；

3)反应完毕，加热器断电，冷却器开启，启动防护驱动电机带动防护驱动齿轮旋转，从而带动防护罩下降，防护罩逐渐罩设于坩埚上，对坩埚内硅进行纵向梯度散热；

4)坩埚散热完毕，启动高度调节电机，带动驱动螺纹杆旋转，从而带动上隔热笼上升远离下隔热笼，完成全方位散热。