[发明专利]一种多角度快速调节光学元件的装置及方法在审
| 申请号： | 202110814174.1 | 申请日： | 2021-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN115638740A | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 于杰;邱宏伟;金春水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 魏毅宏 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种多角度快速调节光学元件的装置，该装置包括激光干涉仪、干涉仪标准镜头、零位补偿镜和第一调整机构；第一调整机构上安装有旋转转台，旋转转台安装有第二调整机构，第二调整机构上还安装有第三调整及检测支撑平台，被检光学元件置于第三调整及检测支撑平台上，本发明是通过灵敏度矩阵可以快速计算各调整机构的调整量，从而快速地调整各调整机构以及被检光学的空间位置，大大节省了调整时间，也降低调整难度，通过泽尼克第二、三、七、八项的系数会使得调整的精度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 角度 快速 调节 光学 元件 装置 方法 | ||
【主权项】：
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