[发明专利]一种多角度快速调节光学元件的装置及方法

权利要求书

1.一种多角度快速调节光学元件的装置，其特征在于：该装置包括激光干涉仪、干涉仪标准镜头、零位补偿镜和第一调整机构；

所述第一调整机构上安装有旋转转台，所述旋转转台安装有第二调整机构，所述第二调整机构上还安装有第三调整及检测支撑平台，被检光学元件置于所述第三调整及检测支撑平台上。

2.根据权利要求1所述的多角度快速调节光学元件的装置，其特征在于：所述激光干涉仪、干涉仪标准镜头、零位补偿镜与第一调整机构垂直某一条线设置。

3.一种多角度快速调节光学元件的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：利用第三调整机构和第一调整机构调整被检光学元件，使得转动旋转转台时干涉仪监视器上的光点不动；

S2：建立第一调整机构、第二调整机构关于泽尼克第二项、第三项(XY方向倾斜)以及第七项、第八项慧差项系数的灵敏度矩阵；

S3：利用干涉仪检测被检光学元件，记录此时原始倾斜及慧差项系数第一项、第二项、第七项和第八项；

S4：将转台旋转180°，对被检光学元件再次进行检测，记录此时旋转后的倾斜及慧差项系数第一项、第二项、第七项和第八项；

S5：利用灵敏度矩阵计算调整量并通过第二调整机构调整被检光学元件，计算出第一项、第二项、第七项和第八项的值调；

S6：：重复S3至S5，直至第一项、第二项、第七项和第八项系数在转动转台时不变；

S7：利用第一调整机构将第一项、第二项、第七项和第八项系数调为零，此时，干涉仪光轴、被检光学元件光轴、转台转轴以及第一调整机构中心轴空间位置一致，被检光学元件调整到位。

4.根据权利要求2所述的一种多角度快速调节光学元件的方法，其特征在于：所述S2中的灵敏度矩阵的建立是通过分别将XY方向的平移和倾斜调整一定的量，将调整前后的第一项、第二项、第七项和第八项系数相减得到灵敏度矩阵。