[发明专利]雾化装置与薄膜沉积系统

摘要

本发明涉及一种雾化装置与薄膜沉积系统，雾化装置包括主体、震荡模组及光热模组。主体设有主腔室，主体还设有与主腔室相连通的进气接头与出气接头。进气接头用于与载气管相连通，出气接头用于与反应腔室的进气口相连通。出气接头通过对接管与反应腔室连通。震荡模组设有进样口与出样口，进样口用于与样品管相连通，出样口用于与主腔室相连通。震荡模组用于对进入震荡模组内部的反应液进行震荡处理，以使得反应液雾化形成气溶胶。光热模组设置于主腔室的壁上，光热模组用于对主腔室进行加热升温处理，以使得通过震荡模组进入到主腔室内的反应液雾化形成气溶胶，能提高薄膜的制备效率，工作温度能得到精确控制且波动范围较小，受热均匀。