[发明专利]雾化装置与薄膜沉积系统

权利要求书

1.一种雾化装置，其特征在于，所述雾化装置包括：

主体，所述主体设有主腔室，所述主体还设有与所述主腔室相连通的进气接头与出气接头，所述进气接头用于与载气管相连通，所述出气接头用于与反应腔室的进气口相连通；

震荡模组，所述震荡模组设有进样口与出样口，所述进样口用于与样品管相连通，所述出样口用于与所述主腔室相连通，所述震荡模组用于对进入所述震荡模组内部的反应液进行震荡处理，以使得所述反应液雾化形成气溶胶；及

光热模组，所述光热模组设置于所述主腔室的壁上，所述光热模组用于对所述主腔室进行加热升温处理，以使得通过所述震荡模组进入到所述主腔室内的反应液雾化形成气溶胶。

2.根据权利要求1所述的雾化装置，其特征在于，所述震荡模组设置于所述主体上；所述进样口位于所述主腔室的外部，所述出样口位于所述主腔室的内部。

3.根据权利要求1所述的雾化装置，其特征在于，所述震荡模组的震荡频率为f,f为1.5MHZ～2.0MHZ。

4.根据权利要求1所述的雾化装置，其特征在于，所述震荡模组为超声波震荡模组、电磁震荡模组或微波震荡模组。

5.根据权利要求1所述的雾化装置，其特征在于，所述震荡模组包括壳体、以及设置于所述壳体内的震动件与导热件；所述进样口与所述出样口分别设置于所述壳体的相对两端，所述导热件相对于所述震动件更加靠近于所述出样口。

6.根据权利要求5所述的雾化装置，其特征在于，所述导热件为热水管、热气流管或电热棒；所述导热件呈螺旋式地布置于所述壳体的内部。

7.根据权利要求5所述的雾化装置，其特征在于，所述出样口装设有喷头，所述喷头的喷射面上设有若干个喷孔。

8.根据权利要求1所述的雾化装置，其特征在于，所述震荡模组为两个以上，两个以上所述震荡模组间隔地设置于所述主体上；两个以上所述震荡模组用于与两个以上所述样品管一一对应连通。

9.根据权利要求1所述的雾化装置，其特征在于，所述光热模组包括若干个发光源，若干个所述发光源沿着所述进气接头至所述出气接头的方向上依次间隔设置。

10.根据权利要求9所述的雾化装置，其特征在于，所述发光源为钨灯、激光灯、红外线灯或紫外线灯。

11.根据权利要求9所述的雾化装置，其特征在于，所述光热模组还包括安装座；所述安装座设置于所述主腔室的壁上，若干个所述发光源可拆卸地装设于所述安装座上。

12.根据权利要求11所述的雾化装置，其特征在于，所述雾化装置还包括温度传感器与控制器；所述温度传感器设置于所述主体上，用于获取所述主腔室内的温度信息，所述温度传感器与所述控制器电性连接；所述控制器与所述安装座电性连接，用于根据所述温度信息控制所述发光源工作。

13.根据权利要求1所述的雾化装置，其特征在于，所述雾化装置还包括设置于所述主腔室内部的过滤网；所述过滤网为导热体，所述过滤网设置于所述主腔室的内部靠近于所述出气接头的一端。

14.根据权利要求13所述的雾化装置，其特征在于，所述过滤网为电热丝，或者所述过滤网与位于所述主体外部的导热装置导热接触。

15.根据权利要求13所述的雾化装置，其特征在于，所述过滤网设有滤孔，所述滤孔的孔径为0.1mm-15mm。

16.根据权利要求13所述的雾化装置，其特征在于，所述过滤网为两个以上，两个以上所述过滤网沿着所述进气接头至所述出气接头的方向上依次间隔设置。