[发明专利]一种双重释应力的半导体模块及其制作方法在审
申请号: | 202110796800.9 | 申请日: | 2021-07-14 |
公开(公告)号: | CN113659065A | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 刘凌波;吴永庆 | 申请(专利权)人: | 杭州大和热磁电子有限公司 |
主分类号: | H01L35/02 | 分类号: | H01L35/02;H01L35/08;H01L35/32;H01L35/34 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 郑汝珍 |
地址: | 310051 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提出一种双重释应力的半导体模块及其制作方法,包括上陶瓷基板和下陶瓷基板,所述上陶瓷基板和下陶瓷基板之间若干半导体元件,所述上陶瓷基板和半导体元件设有第一导流片,所述下陶瓷基板和半导体元件之间设有第二导流片,所述若干半导体元件通过第一导流片和第二导流片串联,所述上陶瓷基板和下陶瓷基板至少1个上设有若干横向切割槽和纵向切割槽,所述第一导流片和第二导流片设有若干凹槽,所述凹槽的方向与电流流向一致。本发明在高温情况或低温情况下有效降低热应力,同时在快速温度循环的情况下能降低热应力,在密集通电断电操作情况下也能降低热应力。 | ||
搜索关键词: | 一种 双重 应力 半导体 模块 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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