[发明专利]一种具有良好气密性和高可靠安装精度的离子源在审
| 申请号： | 202110778228.3 | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN113453412A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 石金水;陈宇航;张晨;王丹;邓建军;马瑞利 | 申请（专利权）人： | 四川玖谊源粒子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H7/08 | 分类号： | H05H7/08 |
| 代理公司： | 成都东唐智宏专利代理事务所(普通合伙) 51261 | 代理人： | 罗言刚 |
| 地址： | 621000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有良好气密性和高可靠安装精度的离子源，包括阳极筒本体，所述阳极筒本体安装在离子源支座的左端；所述阳极筒本体的内部安装有准直器本体；阴极杆，所述阴极杆安装在离子源支座上，且阴极杆的内侧设置有标准陶瓷垫片，并且标准陶瓷垫片的内侧设置有接线柱。该具有良好气密性和高可靠安装精度的离子源，离子源结构优化在阴极杆和阳极筒的安装精度以及安装的工作效率有所提升，大幅度减少了离子源安装的工作量，提高离子源安装的工作效率，且在离子源整体的气密性方面也有着大幅度的提升，减少了氢气的损失量；且该离子源支座结构环境接受度高，制作成本合适，经济性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 良好 气密性 可靠 安装 精度 离子源 | ||
【主权项】：
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