[发明专利]一种具有良好气密性和高可靠安装精度的离子源

权利要求书

1.一种具有良好气密性和高可靠安装精度的离子源，其特征在于，包括：

阳极筒本体（1），所述阳极筒本体（1）安装在离子源支座的左端；

所述阳极筒本体（1）的内部安装有准直器本体（2）；

阴极杆（3），所述阴极杆（3）安装在离子源支座上，且阴极杆（3）的内侧设置有标准陶瓷垫片（5），并且标准陶瓷垫片（5）的内侧设置有接线柱（6）。

2.根据权利要求1所述的一种具有良好气密性和高可靠安装精度的离子源，其特征在于：所述阳极筒本体（1）上还设置有一体式偏心孔,所述一体式偏心孔位于阳极筒本体内壁,所述准直器外壁具有与所述一体式偏心孔配合的凸起。

3.根据权利要求1所述的一种具有良好气密性和高可靠安装精度的离子源，其特征在于：所述阳极筒本体（1）底面设置有定位扁（8）。

4.根据权利要求1所述的一种具有良好气密性和高可靠安装精度的离子源，其特征在于：所述阳极筒本体（1）外侧壁具有至少一对止口（7）。

5.根据权利要求1所述的一种具有良好气密性和高可靠安装精度的离子源，其特征在于：所述阴极杆（3）通过一对锁紧螺钉（4）与标准陶瓷垫片（5）相连接，且用于定位的标准陶瓷垫片（5）在阴极杆（3）上下成中心对称设置。

6.根据权利要求1所述的一种具有良好气密性和高可靠安装精度的离子源，其特征在于：所述离子源外壳具有粗糙密封区（9）,所述粗糙密封区为韧性绝缘材料包覆在外壳上形成。

7.根据权利要求1所述的一种具有良好气密性和高可靠安装精度的离子源，其特征在于：所述接线柱（6）位于所述粗糙密封区（9）末端，所述粗糙密封区（9）长度延长使接线柱（6）的位置到达离子源支座的气水管路(11)的连接处。

8.根据权利要求1所述的一种具有良好气密性和高可靠安装精度的离子源，其特征在于：离子源支座的气水管路(11)的连接处为低温钎焊连接头(10)。