[发明专利]用于玻璃上传感器的方法和结构在审
| 申请号： | 202110777581.X | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN113912001A | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | S·平德尔;C·阿伦斯;S·乔斯特;U·克伦拜恩 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 马明月 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的各实施例涉及用于玻璃上传感器的方法和结构。用于在衬底上提供半导体层布置的方法包括：提供具有功能层和半导体衬底层的半导体层布置；将半导体层布置附接到玻璃衬底层，使得功能层被布置在玻璃衬底层与半导体衬底层之间；以及至少部分地去除半导体衬底层，使得玻璃衬底层代替作为半导体层布置的衬底的半导体衬底层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 玻璃 传感器 方法 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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