[发明专利]量测装置、量测补偿系统、量测方法及量测补偿方法在审
| 申请号： | 202110769250.1 | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN115597510A | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 李想 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 史治法 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种量测装置、量测补偿系统、量测方法及量测补偿方法，量测装置包括治具晶圆，治具晶圆包括：晶圆；测距传感器，设置于晶圆的正面，用于在治具晶圆置于反应腔室的晶圆吸盘上后量测治具晶圆与位于反应腔室顶部的上电极之间的距离；水平传感器，设置于晶圆的正面，水平传感器用于在治具晶圆置于晶圆吸盘上后量测晶圆吸盘的水平状况；数据传送装置，与测距传感器及水平传感器相连接，用于传送测距传感器量测的数据及水平传感器量测的数据。本申请中的量测装置避免了人工测量产生的误差，准确性较高；无需打开反应腔室即可实时地获取晶圆吸盘的水平状况，能够提升反应腔室工作的安全性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 补偿 系统 方法 | ||
【主权项】：
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