[发明专利]一种用于研磨晶圆片的超精细改性聚合粉及液的制备方法在审
| 申请号： | 202110768630.3 | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN113372006A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 田多胜 | 申请（专利权）人： | 东莞市中微纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C11/00 | 分类号： | C03C11/00;C03B19/06 |
| 代理公司： | 东莞市永邦知识产权代理事务所(普通合伙) 44474 | 代理人： | 毛有帮 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种用于研磨晶圆片的超精细改性聚合粉及液的制备方法，包括聚合粉的制备方法和聚合液的制备方法，本聚合液配合专用的蜂窝网格研磨垫对半导体晶圆片表面进行研磨时，在保证加工精度的同时能显著提高研磨效率，本方案中的金刚石单晶磨粒为精细研磨的磨料；通过陶瓷造孔剂在研磨颗粒上进行微观造孔，使研磨颗粒上的孔洞增多，孔洞内可以容纳更多更精细的金刚石磨粒；玻璃粉可以形成相互交错的网络，可以增加研磨的韧性，防止整块断裂；本方案制备的研磨粉体颗粒中的棱角较多，研磨效果大大增强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 研磨 晶圆片 精细 改性 聚合 制备 方法 | ||
【主权项】：
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