[发明专利]采用改进工艺制备单晶薄膜体声波谐振器及滤波器的方法在审
| 申请号： | 202110753183.4 | 申请日： | 2021-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN113489467A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 董树荣;轩伟鹏;金浩;骆季奎 | 申请（专利权）人： | 海宁波恩斯坦生物科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 杭州昊泽专利代理事务所(特殊普通合伙) 33449 | 代理人： | 黄前泽 |
| 地址： | 314499 浙江省嘉兴市海宁市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了采用改进工艺制备单晶薄膜体声波谐振器及滤波器的方法。本发明在衬底的一侧表面淀积待键合层一；在基底的一侧表面沉积压电层；在压电层表面沉积第一电极；在压电层、牺牲层和第一电极表面上淀积待键合层二，或在压电层、布拉格反射层和第一电极表面淀积待键合层二，利用键合工艺将含待键合层一的衬底与含待键合层二的基底贴合，获得键合界面致密的器件，来减少后续薄膜体声波谐振器器件背面衬底减薄过程中因界面结合存在缝隙导致的器件塌陷、解键合等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 改进 工艺 制备 薄膜 声波 谐振器 滤波器 方法 | ||
【主权项】：
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