[发明专利]纳米激光直写物镜有效
| 申请号： | 202110750181.X | 申请日： | 2021-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN113448179B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 黄木旺;刘旭;匡翠方;林法官 | 申请（专利权）人： | 浙江大学;福建福特科光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B13/18 |
| 代理公司： | 福州市众韬专利代理事务所(普通合伙) 35220 | 代理人： | 陈智雄 |
| 地址： | 310063 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及镜头领域，特别为一种纳米激光直写物镜。包括沿光线入射方向依次设置的负光焦度的第一群组、正光焦度的第二群组、光阑、以及正光焦度的第三群组；其中各群组的焦距满足以下关系：0.65＜|fA/fB|＜3.5；4.0＜|fB/fC|＜15.0；‑120mm＜fA＜‑40mm；40mm＜fB＜80mm；5mm＜fC＜15mm，其中：fA为第一群组的焦距，fB为第二群组的焦距，fC为第三群组的焦距。本发明提供一种数值孔径NA至1.3左右且高分辨率的纳米激光直写物镜，该物镜为无限远复消色差类型系统，且无需使用超半球镜片，便于物镜的加工，能降低物镜的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 激光 物镜 | ||
【主权项】：
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