[发明专利]纳米激光直写物镜

权利要求书

1.一种纳米激光直写物镜，其特征在于：包括沿光线入射方向依次设置的负光焦度的第一群组（A）、正光焦度的第二群组（B）、光阑、以及正光焦度的第三群组（C）；

其中各群组的焦距满足以下关系：

0.65＜|fA/fB|＜3.5；

4.0＜|fB/fC|＜15.0；

其中：fA为第一群组的焦距，fB为第二群组的焦距，fC为第三群组的焦距；

所述第一群组的焦距fA为：-120mm＜fA＜-40mm；

所述第二群组的焦距fB为：40mm＜fB＜80mm；

所述第三群组的焦距fC为：5mm＜fC＜15mm；

在第二群组（A）中至少有两片镜片使用超低色散材料，所述超低色散材料的阿贝数范围为90～100；

在第三群组（C）中至少有一片镜片使用超低色散材料，所述超低色散材料的阿贝数范围为90～100；

所述第一群组（A）包括沿着光线入射方向依次设置的弯月型的第一透镜（A1）、双凸型的第二透镜（A2）、双凹型的第三透镜（A3）、双凹型的第四透镜（A4）、双凹型的第五透镜（A5）、双凸型的第六透镜（A6）以及正光焦度的第七透镜（A7）；

所述第二透镜（A2）和第三透镜（A3）组成密接的双胶合组，所述第五透镜（A5）和第六透镜（A6）组成密接的双胶合组。

2.根据权利要求1所述的纳米激光直写物镜，其特征在于：所述第二群组（B）包括沿着光线入射方向依次设置的双凹型的第八透镜一（B8）、双凸型的第九透镜一（B9）、双凸型的第十透镜一（B10）、双凹型的第十一透镜一（B11）、双凸型的第十二透镜一（B12）、双凸型的第十三透镜一（B13）、弯月型的第十四透镜一（B14）、双凸型的第十五透镜一（B15）、双凹型的第十六透镜一（B16）、弯月型的第十七透镜一（B17）、以及负弯月型的第十八透镜一（B18）；

所述第八透镜一（B8）和第九透镜一（B9）组成密接的双胶合组，所述第十透镜一（B10）、第十一透镜一（B11）和第十二透镜一（B12）组成密接的三胶合组，所述第十五透镜一（B15）和第十六透镜一（B16）组成密接的双胶合组。

3.根据权利要求1所述的纳米激光直写物镜，其特征在于：所述第三群组（C）包括沿着光线入射方向依次设置的第一双胶合组透镜、第二双胶合组透镜、以及至少一个的弯月型透镜；

沿着光线入射方向,所述第一双胶合组透镜由负弯月型的第十九透镜一（C19）和负弯月型的第二十透镜一（C20）密接胶合而成；

第二双胶合组透镜由弯月型的第二十一透镜一（C21）和弯月型的第二十二透镜一（C22）密接胶合而成。

4.根据权利要求3所述的纳米激光直写物镜，其特征在于：所述第三群组（C）中弯月型透镜的数量为两个，分别为沿着光线入射方向依次设置在第二双胶合组透镜像方一侧的第二十三透镜一（C23）和第二十四透镜一（C24）。

5.根据权利要求1所述的纳米激光直写物镜，其特征在于：所述第二群组（B）包括沿着光线入射方向依次设置的双凹型的第八透镜二（B8’）、双凸型的第九透镜二（B9’）、双凸型的第十透镜二（B10’）、双凹型的第十一透镜二（B11’）、双凸型的第十二透镜二（B12’）、负弯月型的第十三透镜二（B13’）、双凸型的第十四透镜二（B14’）、双凹型的第十五透镜二（B15’）、双凸型的第十六透镜二（B16’）、双凹型的第十七透镜二（B17’）、双凸型的第十八透镜二（B18’）、以及双凹型的第十九透镜二（B19’）；

所述第八透镜二（B8’）和第九透镜二（B9’）组成密接的双胶合组，所述第十透镜二（B10’）、第十一透镜二（B11’）和第十二透镜二（B12’）组成密接的三胶合组，所述第十四透镜二（B14’）和第十五透镜二（B15’）组成密接的双胶合组，所述第十六透镜二（B16’）和第十七透镜二（B17’）组成密接的双胶合组；所述第十八透镜二（B18’）和第十九透镜二（B19’）组成密接的双胶合组。