[发明专利]板载压力传感器的制备方法及其板载压力传感器在审
| 申请号： | 202110720391.4 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN113340514A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 李玉林;谢文;袁宇飞 | 申请（专利权）人： | 东莞市华芯联科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L9/04 |
| 代理公司： | 东莞市启信展华知识产权代理事务所(普通合伙) 44579 | 代理人： | 关秀娟 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市松*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及载式压力传感器的技术领域，特别涉及板载压力传感器的制备方法，包括如下步骤：制备陶瓷感应膜片；制备陶瓷基座；通过玻璃浆料将陶瓷感应膜片及陶瓷基座烧结于一体；激光调修将板载压力传感器输出零点进行调整、满足测试基本要求；封装板载压力传感器。通过玻璃烧结的方式将陶瓷感应膜片及将陶瓷基座烧结于一体，省去了邦定工艺，同时，陶瓷感应膜片不仅起到了感应作用还起到了隔离作用，彻底解决介质中水分，腐蚀性材料对传感器本身的影响，解决板载式传感器存在的可靠性问题。该制备方法制备的产品的一致性、稳定性均得到大幅度提升，与MEMS器件比较，有效提高了传感器的品质及适用范围。本发明还提供了板载压力传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 制备 方法 及其 | ||
【主权项】：
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