[发明专利]金属有机化学气相沉积设备及使用方法有效
| 申请号： | 202110719294.3 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN113684537B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 陈张笑雄;葛永晖;薛涛;刘春杨;梅劲;李鹏 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B25/10;C30B25/12;C30B28/14;C30B25/16 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 吕耀萍 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种金属有机化学气相沉积设备及使用方法，属于外延生长技术领域。金属有机气相沉积设备包括反应腔、生长结构与加热结构。生长结构中的位于反应腔内的外延托盘可以用于对衬底进行支撑，驱动组件可以用于驱动外延托盘正常转动以实现生长。加热结构包括加热件与升降组件，相连的加热件与升降组件均位于外延托盘与反应腔的底部之间，且加热件与升降组件在外延托盘指向反应腔的底部的方向上依次分布。快速降温时，可以使外延托盘上升，加热件快速下降，温度快速变化。温度调整所需的时间较短，可以降低温度需求跨度较大的外延材料的制备成本并提高外延材料的制备效率。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 有机化学 沉积 设备 使用方法 | ||
【主权项】：
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