[发明专利]金属有机化学气相沉积设备及使用方法

权利要求书

1.一种金属有机化学气相沉积设备，其特征在于，所述金属有机气相沉积设备包括反应腔(1)、生长结构(2)与加热结构(3)，

所述生长结构(2)包括外延托盘(21)与驱动组件(22)，所述外延托盘(21)位于所述反应腔(1)内，所述驱动组件(22)与所述外延托盘(21)相连，所述驱动组件(22)用于驱动所述外延托盘(21)转动或者轴向移动，所述外延托盘(21)与加热件(31)之间的距离的变化范围为1～5cm，所述反应腔(1)为柱状腔，所述加热结构(3)还包括环形导流板(36)，所述环形导流板(36)的外周壁同轴固定在所述反应腔(1)的周壁上，所述环形导流板(36)的内周壁具有螺旋槽(361)，所述螺旋槽(361)与所述环形导流板(36)的端面之间的夹角(a)为28°～40°，所述环形导流板(36)具有冷却液孔(362)，所述冷却液孔(362)的进口与所述冷却液孔(362)的出口在所述环形导流板(36)的一端的端面间隔分布，

所述加热结构(3)包括加热件(31)与升降组件(32)，所述加热件(31)与所述升降组件(32)位于所述外延托盘(21)与所述反应腔(1)的底部之间，所述加热件(31)与所述升降组件(32)相连，且所述加热件(31)与所述升降组件(32)在所述外延托盘(21)指向所述反应腔(1)的底部的方向上依次分布，所述升降组件(32)用于驱动所述加热件(31)沿所述外延托盘(21)的轴向移动。

2.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉积设备，其特征在于，所述升降组件(32)包括环形支撑台(321)与多个轴线平行于所述外延托盘(21)的伸缩缸(322)，所述多个伸缩缸(322)的一端均与所述反应腔(1)的底部相连，且所述多个伸缩缸(322)沿所述外延托盘(21)的周向等距间隔分布，所述环形支撑台(321)的一端与所述多个伸缩缸(322)的另一端相连，所述环形支撑台(321)与所述加热件(31)相连，所述环形支撑台(321)的轴线与所述外延托盘(21)的轴线重合。

3.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉积设备，其特征在于，所述螺旋槽(361)的横截面为梯形，且所述螺旋槽(361)的底部宽度小于所述螺旋槽(361)的顶部宽度。

4.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉积设备，其特征在于，所述螺旋槽(361)的最小宽度为5～10mm。

5.一种金属有机化学气相沉积设备的使用方法，其特征在于，所述使用方法采用如权利要求1～4任一项所述的金属有机化学气相沉积设备实现，所述使用方法包括：

在反应腔的外延托盘上放置多个衬底；

驱动组件驱动所述外延托盘转动；

加热件加热所述外延托盘；

向所述反应腔内通入反应气体与有机金属源，以在所述衬底上生长外延材料；

根据所述外延材料的生长温度需求，使所述驱动组件驱动所述外延托盘上升或下降，使所述升降组件驱动所述加热件升高或下降，使所述外延托盘和所述加热件之间的距离变化以改变所述外延托盘与所述衬底的温度。

6.根据权利要求5所述的使用方法，其特征在于，

若所述外延材料的生长温度降低的范围为50～200℃，使所述驱动组件驱动所述外延托盘上升，所述升降组件驱动所述加热件降低；

若所述外延材料的生长温度升高的范围为50～300℃，使所述驱动组件驱动所述外延托盘下降，所述升降组件驱动所述加热件升高。