[发明专利]一种基于二维材料量子隧穿的高灵敏压力传感器在审
| 申请号： | 202110696515.X | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN113503990A | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 于孟今 | 申请（专利权）人： | 于孟今 |
| 主分类号： | G01L1/12 | 分类号： | G01L1/12;G01L9/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 252400 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及压力传感领域，具体提供了一种基于二维材料量子隧穿的高灵敏压力传感器。本发明中，钉扎层、势垒层、自由层构成磁隧道结。应用时，应用固定磁场作用于本发明；压力作用在受力层上。通过测量具有压力时和未施加压力时，钉扎层和自由层之间电阻的差异，确定待测压力。在本发明中，受力层压缩二维材料层，使得二维材料层产生相变或形变，从而改变二维材料层的导电特性和量子隧穿特性，从而改变钉扎层和自由层之间的磁隧道结电阻。因为钉扎层和自由层之间的磁隧道结电阻严重地依赖于其间的二维材料层的导电特性或量子隧穿特性，所以本发明具有压力探测灵敏度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 二维 材料 量子 灵敏 压力传感器 | ||
【主权项】：
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